 亚电科技是半导体晶圆制造行业湿法制程设备商, 专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术, 是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一，目前公司在江苏无锡和海外设立了研发基地。 亚电的核心产品包括8吋、12吋槽式/单片湿法刻蚀清洗设备，作为一家拥有自主知识产权的高新技术企业，所有核心技术均已申请发明专利。通过多年的技术研发和积累，亚电通过多样化、个性化的解决方案致力于为客户提供更有竞争力的产品和服务。 为便于第一时间响应客户需求，公司在全国各重点城市设有售后团队。  |
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企业文化
使命
企业愿景
价值观
为客户提供更有竞争力的产品和服务
成为领先的中国半导体湿法制程设备商
以产品为中心：专注、品质、成本、极致、快
客户第一：快速响应，解决问题，客户立场，赢得客户信赖
团队合作: 实事求是，诚信敬业，彼此尊重和信任
使命必达：艰苦奋斗，狼性的战斗力，高效的执行力
| 设备型号： | DF-3000B |
| 设备类型： | Cassette Less/Type |
| 晶圆尺寸： | 300mm |
| 设备配置： | 8~12 个槽体, 2~6 个Robot（可定制） |
| 可搭载先进超声波、兆声波 | |
| 槽体过温保护, 各Module配置漏液传感器 | |
| 多级Wafer保护措施 | |
| 化学液CCSS or LCSS supply | |
| 自动换酸, 自动补液、配液( 可兼容多种浓度配比) | |
| 先进Marangoni干燥 | |
| 加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制 | |
| 化学液/水, 直排&回收 | |
| 可靠性能： | Uptime≥98% Breakage≤1/100000 |
| MTBF≥650 hours MTTR≤3 hours | |
| 软件控制： | PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC等功能 |
| 设备型号： | FY-3000S |
| 晶圆尺寸： | 300mm |
| 腔 体： | 4~24 个腔体（可定制） |
| Vacuum or Grip方式 | |
| 4~5 个Dispenser，2~3种化学液 | |
| 排风分离：酸，碱，有机化学液分开排放 | |
| E F E M ： | 2 or 4 SMIF/FOUP, 1 Index robot, 1or 2WTR |
| 化学药液： | 支持CCSS / LCSS Supply |
| 化学液泵循环 | |
| 加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制 | |
| 化学液/水, 直排&回收 | |
| 配 置： | 离子发生器、臭氧发生器、高清摄像头（可选） |
| 可靠性能： | Uptime≥98% Breakage≤1/100000 |
| MTBF≥500 hours MTTR≤3 hours | |
| 软件控制： | PC+PLC+GUI 控制, 支持EAP、FDC等功能 |
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