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设备型号: | DF-3000B |
设备类型: | Cassette Less/Type |
晶圆尺寸: | 300mm |
设备配置: | 8~12 个槽体, 2~6 个Robot(可定制) |
可搭载先进超声波, 兆声波 | |
槽体过温保护, 各Module配置漏液传感器 | |
多级Wafer保护措施 | |
支持化学液CCSS / LCSS | |
自动换酸, 自动补液、配液( 可兼容多种浓度配比) | |
先进Marangoni干燥 | |
加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制 | |
化学液/水, 直排&回收 | |
可靠性能: | Uptime≥98% Breakage≤1/100000 |
MTBF≥650 hours MTTR≤3 hours | |
软件控制: | PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC等功能 |
设备型号: | FY-3000S |
晶圆尺寸: | 300mm |
腔 体: | 4~24 个腔体(可定制) |
Vacuum or Grip方式 | |
4~5 个Dispenser,2~3种化学液 | |
排风分离:酸,碱,有机化学液分开排放 | |
E F E M : | 2 or 4 SMIF/FOUP, 1 Index robot, 1or 2WTR |
化学药液: | 支持CCSS / LCSS Supply |
化学液泵循环 | |
加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制 | |
化学液/水, 直排&回收 | |
配 置: | 高清摄像头、离子发生器、臭氧发生器(可选) |
可靠性能: | Uptime≥98% Breakage≤1/100000 |
MTBF≥500 hours MTTR≤3 hours | |
软件控制: | PC+PLC+GUI 控制, 支持EAP、FDC等功能 |