采购需求
电机

免电池绝对值编码器，42步进，驱动器支持1托4，1拖8或者驱动器电机一体型封套优秀的免电池绝对值42步进。防护等级IP65
电缸

匹配免电池绝对值电机的直线型微型电缸，电缸外形厚度≤35mm，垂直负载≥6KG。可以是无电机形式，能够匹配标准法兰的电机。电缸重复精度±0.01mm，速度≥100mm/s，行程50~100mm之间可定制。防护等于IP65
药液阀门

1/8，1/4口径的一体型三通阀，药液接触部分PTFE、PFA。 1/4，1/2，3/4，1寸口径的定压阀和背压阀，压力≤0.5MPA，药液接触部分PTFE、PFA。可配合气动比例阀自动调节
加热器及热交换器

针对有机溶剂的在线加热器，防爆设计优秀，加热温度≤90℃；热交换器温度范围15~50℃，控制精度±0.1℃，有针对溶剂的防爆型产品；摄像头具有夜视功能，温度检测和火焰监测功能，耐酸碱气，有防爆设计
中空伺服电机

转速0~3000rpm，中空孔径≥42mm，
外形130X130左右，额定扭矩≥5NM
半导体洁净防爆泵

隔膜泵，风囊泵，磁悬浮泵形式都可，洁净，药液接触部分防漏设计，流量15~60LPM，能够泵送易燃易爆的有机溶剂和高温酸碱
流量调节阀

使用温度5-90℃，耐压1MPa，工作压力0-0.5MPa，
主体材质PTFE/PFA，环境温度10-60℃，
流量范围10-2000ml/min；流量控制精度±1%
浓度计

适用介质HF/H2O2/NH4OH/HCL/混合物等，

重复测量精度≤0.5%，

在线检测，口径1/4“、1/2“、3/4”，

温度0-80℃，主体材质PTFE、PFA

加工商

金属、钣金、框架和树脂材料加工商。 精密金属加工：表面处理能力强，能进行PTFE coating，电解抛光，低温镀黑铬，阳极氧化等，具备洁净清洗和包装的能力； 钣金加工：折弯精度可以做到±0.1mm内，具有刨槽、拉铆、镜面不锈钢加工、spcc喷塑等能力； 框架制作：具有整体加工和组装适配能力，pvc框架包覆和防漏焊接能力，具有全金属框架的焊接和适配； 树脂材料：加工需要有一定半导体经验，有专用的恒温恒湿车间，能够进行如PEEK、PTFE、PFA等的焊接，具有洁净清洗和包装能力； 模块整包供应商：能够进行整个模块的加工，组装和调试的能力，如半导体晶圆chuck、传送单元等。
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